旋转涂膜成套设备包含：1前期简单清洗：超声波清洗机(用于去除基片表面污渍 )2:深层清洗：等离子清洗机(达分子级的深层清洗，用于改善基片表面的亲水性和湿润性)3:涂膜：真空旋转涂膜机(适用于4英寸及以下的晶圆表面的涂膜)、4:胶体……

　　多温区烘胶台,多温区烘胶设备烤胶机采用桌面加热板技术,广泛用于晶圆光刻胶真空烘焙和晶圆烘胶。精密数字温度控制器可实现1°C至230°C的温度可调,适用于软烘焙和硬烘焙工艺，以及光刻胶固化、环氧树脂固化或任何其他需要精确温度控……

烤胶机采用桌面加热板技术,广泛用于晶圆光刻胶真空烘焙和晶圆烘胶。精密数字温度控制器可实现1°C至230°C的温度可调,适用于软烘焙和硬烘焙工艺，以及光刻胶固化、环氧树脂固化或任何其他需要精确温度控制的工作的固化。

烤胶机与传统的烘箱、真空干燥箱相比，利用烤胶机固化膜层的优势有：烘烤时间减少，重复性高，对薄膜的固化效果好。 　　烤胶机整个面板温度均匀，对基片膜层固化效果非常好。由于固化是从下往上，所以不会“皮肤效应”。这种“由里而……

　智能恒温加热台采用6061铝合金作为发热板，采用PID控温，长期加热也能温度保持均匀性，边缘和角落也保持温度均匀性。控制温控范围为室温~400℃，温度稳定，均匀度高。高性能温控仪表，精度高，控温稳定,可升级附带程序段及通讯功能.……