烤胶机采用桌面加热板技术,广泛用于晶圆光刻胶真空烘焙和晶圆烘胶。精密数字温度控制器可实现1°C至230°C的温度可调,适用于软烘焙和硬烘焙工艺，以及光刻胶固化、环氧树脂固化或任何其他需要精确温度控制的工作的固化。