匀胶显影机
- 匀胶显影机是一款高性能精密显影机,采用了先进的设计理念,配合精密的运动控制系统,可以实现高精度、高均匀度的匀胶显影操作。自动滴胶匀胶……
产品详细
匀胶显影机是一款高性能精密显影机,采用了先进的设计理念,配合精密的运动控制系统,可以实现高精度、高均匀度的匀胶显影操作。自动滴胶匀胶显影机, 旋涂仪,真空旋转涂层机主要用于液体,胶体在材料表面薄膜的形成,适用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工艺。可在科研,教育,生产中应用。
高精度自动滴胶匀胶机可以存贮100组程序,每组程序可达100步。所有运行参数如转速、加速度、转动时间、点胶机选择等都可在触屏上方便设置。根据客户使用需要,公司可以为客户提供定制的载物盘
主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)旋涂程序:可存100组程序,每组100步,每个步骤到0.1秒转动速度:0-5,000rpm(更高速可选)旋涂加速度:0-10,000rpm/sec(空载)马达旋涂转速稳定性能误差<±1rpm转速调节精度<1rpm
是一种既可用于匀胶操作,又可用于半导体显影和清洗的台面式设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。
不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观;工业级别200瓦伺服电机系统,采用与track设备相同设计和程序,使您的工艺更具有实际应用意义;同类产品中的大达到50000RPM/S的旋转加速度,确保匀胶和显影的稳定性和高的可重复性
整合多项功能:
1 自动匀胶
2 显影
3 清洗
4 刻蚀
5 去胶
6 水烘烤
7 掺杂
匀胶显影机主要特点
1.TX400-5自动滴胶匀胶显影机Spin Processors :
2.32位工业计算机芯片组控制。
3.7英寸触摸屏显示,设定,控制。
4.TX400-5自动滴胶匀胶显影机Spin Processors
5.可设定存储25个不同样片的旋转涂敷工艺过程。
6.每个涂敷工艺过程可以设置100步不同的速度状态;
7.运行过程可以暂停,重复启动。
8.循环转移:最大次数:2的16次方= 65536次。(用途:工艺过程重复部分的设定)
9.液晶显示屏可以实时显示
10.直观显示转速时间曲线。
11.第N个涂敷工艺过程
所处工作段
真空吸片状态。
设置时间;及实时运行时间。
设置速度;及实时速度状态。
中英文两套操作系统供选择。
人机交互式对话,简洁,明了。
安装有真空度传感器,涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度,
必须在安全的真空度下,电机启动,运行。保障可靠吸片,不飞片。
转速精度更高:
300 - 10000 转/分,转速稳定性:+ - 0.1 %
最高转速10000转/分
NPP材质工作腔,外表面洁净光亮。美观,方便清洗。
ET400-5自动滴胶匀胶显影机Spin Processors
能精确滴定5种胶体或气体。(包括胶体,显影液,定型液,氮气)
工作腔直径400mm。可以旋涂最大基片直径380mm圆片或 250mm*250mm方片。
(图片)。可用丙酮擦拭。
NPP的化学稳定性优异,对大多数酸、碱、盐、氧化剂都显 惰 性。例如在100℃的浓磷酸、盐酸、40%硫酸及其它们的盐类溶液中都是稳定的。
匀胶显影机技术参数:
单相交流电源:220V.50Hz
电机功率:150W
旋转真空吸盘直径:4英寸(102mm,标准配置)
可选择配置: 基片直径10—480mm可接受订货。
转数:300 - 10000 转/分。
整个工艺过程是一条连续的曲线。可加减速度。可重复跳转工艺过程。
可精确滴定5种胶体,液体或是气体。
可设定时间:1---9999秒。
可选配件
1、85升/分有油真空泵
2、特殊真空吸盘
3、滴胶筒,滴胶针头。
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62mm 吸盘
高性能匀胶机旋涂仪 可选购:直径10,20,25,50,75mm聚四氟乙烯吸盘。
高性能匀胶机旋涂仪 碎片 微 小片 卡盘。
高性能匀胶机旋涂仪 各种卡盘接受订货。因客户要求差异太大,无法备货。
吸盘卡盘滴胶机等全体附件