可控温型智能程控匀胶机，带进胶保护与报警 ，旋涂正反转可自由切换 ，旋涂腔室整体采用PTFE材料防酸防碱防腐蚀。可放入手套箱加热型匀胶机，智能程控匀胶机是高精密的旋转涂膜仪。主要为高等院校、科研院所、研发中心等进行研究，开发各种功能薄膜所用。适用于半导体硅片、晶片、ITO导电玻璃、光学玻璃、生物薄膜、制版等工艺表面涂覆。

　　可控温型智能程控匀胶机特点：

　　1.带进胶保护与报警

　　1.带防飞片保护与报警

　　2.旋涂正反转可自由切换

　　3.加速度可调，带速度上升曲线实时显示

　　4.吸附不足报警与互锁

　　5.旋涂腔室整体采用PTFE材料防酸防碱防腐蚀

　　6.腔室带抽废气功能

　　4.配方带掉电保护功能

　　7.加热温度：室温–200℃

　　控温程控匀胶机产品参数：

精度	指标
基片尺寸	5-100mm
速度范围	1-10000RPM
转速精度	1RPM
转速稳定度	±0.1%
加速度范围	1-10000RPM/S
胶均匀性	±1%
加热范围	室温-200℃
控制信号	指标
人机界面	4.3寸触摸屏
通信接口	可接无线鼠标键盘：机器可放于手套箱内,同时客户可在手套箱外远程操作机器
旋转方向	支持正反转
触控笔	BAMBOO电阻笔(标配)
真空泵	AP-550V无油泵/FY油泵
编程模式	参数
设置数据	无限组数据，每组10段转速(标配)
每段时间	0-10000秒
存储数据	无限组数据
电气参数	指标
匀胶机交流供电口	AC100-250V
真空泵交流供电口	AC220V(标配) AC110V(选配)
匀胶机功率	200W
真空泵功率	350W
真空泵抽速	≥60L/MIN
机械尺寸	参数
匀胶机体积	210mm(W)X220mm(D)X160mm(H)
匀胶机重量	10KG
泵重量	9KG
使用环境	参数
环境温度	0-40℃
相对湿度	< 85%
放置于桌面	可通过自带水平仪调节机器水平
技术支持	指标
质保期	1年

　　程控匀胶机全新型载物盘控温加热、匀胶同时工作HDPE高分子内腔，PC透明盖，钣金外壳可算的隔热设计，确保设备电机及无件安全电压发热部件，确保操作安全可靠。为用户提供半导体、电子信息、材料及芯片等领域耗材、设备和代工服务，持续为科研用户创造最大价值，助力中国科技行业发展!