产品详细
电子烤胶机用于晶圆表面涂上胶层后,为了实现胶层的快速干燥,一般会采用烤胶机对晶圆进行烘烤。现有的烤胶机都是封闭式的,即加热面板位于一封闭的加热腔中,使用时,打开加热腔,将晶圆水平放在加热面板上,通过电加热的方式对晶圆进行加热,促使胶层快速干燥固化。
这种烤胶机由于加热腔封闭,能够提高热利用率,能耗相对较低,但每次只能够烘烤特定数量的晶圆,且需要人工开启加热腔、放入晶圆、打开加热腔、取出晶圆,效率较低,不利于实现规模化、连续化生产。
烤胶机,包括底座,所述底座上固定设置有电机和保温壳,所述电机竖直设置,且电机的主轴连接有水平的转盘,所述转盘上设置有多个晶圆定位槽,多个晶圆定位槽绕转盘的中心呈圆周状均匀分布;
所述保温壳的内腔由竖直的隔板分隔成为预热腔、加热腔以及预冷腔,所述加热腔内设置有加热组件;所述转盘部分位于保温壳内,部分位于保温壳外,且预热腔、加热腔以及预冷腔中均有一晶圆定位槽。
电子烤胶产品主要特点:
1、稳定性能非常好,温度稳定度可达±0.5℃。
2、温度调节范围宽:室温-500℃
2、采用闭环控制,升温速度快。
3、具有定时功能。同时带倒计时显示功能。
4、采用数字按键控制温度与时间,温度与时间设定更加精确。
5、机身全部采用不锈钢,耐酸耐碱耐腐蚀。
6、针对客户基片尺寸大小,提供加热板定制服务。
烤胶机性能指标:
1、温度范围:室温-300℃,温控连续可调。
2、温度均匀性:±3%(最高温度时,工作台板上各处温度均匀性)
3、电源电压:单相110-240V供电
4、加热板尺寸:200X200mm
5、仪器尺寸:210×220×160mm
6、重量:6.5K
烤胶机的操作步骤
烤胶机整个面板温度均匀,对基片膜层固化效果非常好。由于固化是从下往上,所以不会产生皮肤效应。这种“由里而外”的固化方式尤其适合较厚的膜层,因为较靠近基片的膜层会固化好,然后是膜层靠外的部分。该机由于升温,所以产量较高。烘烤时间用秒计算,而不是像传统烘箱用分钟或者小时计算。
该机主要有机箱、加热部件和电控系统组成。机箱由箱体、罩壳和箱盖组成。加热的部件由加热板、加热元件及保温层、隔热层组成。电控系统由控温仪、继电器、热电偶、开关、指示灯、风扇、插座等组成。控温仪、电源开关、指示灯在面板上。风扇在箱体的后壁上,其它电器元件在箱体的内底板上。
烤胶机的操作步骤:
(1)接通电源,打开开关
(2)通过控温仪的上下箭头设置所需烘烤温度
(3)加热板温度到设置温度后,可以进入烘烤工作
(4)烘烤元件或要加热的东西放在加热板上(烘烤时间由操作者控制掌握)