匀胶机的作用是什么?应用行业说明
发布时间:2024-06-27来源:烤胶机专业制造商-深圳市邦企创源科技有限公司
匀胶机的主要作用是在高速旋转的基片上滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上。 这种设备广泛应用于半导体硅片、载玻片、晶片、基片、ITO导电玻璃等工艺制版的表面涂覆过程中。
![旋涂仪匀胶机](http://www.szdeyu.com.cn/wp-content/uploads/2024/06/2024062718374056.jpg)
匀胶机是科研工作中制备薄膜材料重要的方法之一,是纳米材料、锂离子电池、半导体制备等领域的研究中的必备设备。匀胶机最重要的特征就是均一性和重复性。
![晶圆光刻胶匀胶](http://www.szdeyu.com.cn/wp-content/uploads/2024/06/2024062718331735.jpg)
均一性就是要求匀胶机制备出的薄膜厚度均一,薄膜的厚度通常可以采用椭偏仪等精密仪器测量;
匀胶机的操作能够保证涂胶厚度的一致性和均匀性,这得益于其转速稳定和启动迅速的技术特点。此外,一些高级匀胶机还具备超声波气氛加热功能,能够在匀胶后进行烤胶操作,并通过两路浮子流量计控制的气路,将惰性气体通入腔体内,以保护胶液不受空气中气体的影响。
这些功能使得匀胶机在半导体工艺制版等领域中发挥着至关重要的作用
半导体胶机(也称为半导体涂胶机)是半导体制造过程中常用的关键设备之一,其作用是将涂胶材料均匀地涂布在半导体芯片、晶圆或其他器件表面,以实现保护、绝缘或连接的功能。
![匀胶机内部图](http://www.szdeyu.com.cn/wp-content/uploads/2024/06/2024062718404535.jpg)
以下是半导体匀胶机的原理主要技术指标和应用的详细介绍。
半导体匀胶机的工作原理基于涂胶系统的设计和控制。其主要组成包括供胶系统匀胶系统、控制系统等
供胶系统。用于存储和输送涂胶材料,通常包括涂胶桶、输送泵、胶管等。匀胶系统。负责将涂胶材料均匀地涂布在半导体器件表面,通常采用匀胶头或者喷嘴结构,通过控制匀胶头的移动轨迹和压力来实现均匀涂布。
控制系统。对匀胶机的运行进行监控和调节,包括涂胶速度、厚度、匀胶头的位置
![匀胶机图片](http://www.szdeyu.com.cn/wp-content/uploads/2024/06/2024062718413921.jpg)
什么是匀胶机
匀胶机(Spin coater),又称旋涂仪、甩胶机或均胶机,是一种常见用于材料薄膜制备工艺的实验室设备,它的原理是利用电机高速旋转时所产生的离心力使胶液均匀地涂敷在基底材料的表面,形成一层微米或纳米厚度的均匀薄膜。
重复性就是要求在不同时间,采用相同的工艺制备的薄膜特性具有可重复性,这就要求电机转速具有精确的控制。除此之外,设备的内腔、管道、外壳是否具有耐腐蚀性能?
操作界面是否人性化且方便用户使用?设备内部结构是否能有效防止意外堵胶?是否具备可扩展功能?这些都是衡量一台匀胶机设备好坏的标准。
![匀胶机腔体](http://www.szdeyu.com.cn/wp-content/uploads/2024/06/202406271843196.jpg)
目前,市场上一些品牌的匀胶机只是简单具备匀胶功能,不能称之为合格的匀胶机设备。比如,有的匀胶机还采用旋钮的方式控制转速,无法实现精确控制;有的匀胶机采用PP材质注塑内腔,或者以金属材质作为旋涂内腔,这些材质容易与胶液发生反应,不容易清洁;有的匀胶机不含防堵胶装置,当发生意外堵胶的时候,往往维修困难等等,因此用户在选购匀胶机时,一定要留意这些细节。
生产的匀胶机,全系列产品均采用触摸屏加高级PLC程序控制系统,可编程分步运行,精确控制,方便易用;内腔采用耐腐蚀HDPE材质,采用CNC一体化加工成型,内腔内壁呈凹面,有效防止胶液回溅,避免回溅颗粒影响成膜质量,这与采用PP材质注塑内腔或金属盆内腔有明显优势;因应酸碱等腐蚀性环境,
![程控匀胶机](http://www.szdeyu.com.cn/wp-content/uploads/2024/06/2024062718440054.jpg)
全系匀胶机设备均采用不锈钢外壳,坚固耐用;内部结构专门设计有储液腔,有效防止意外吸胶导致器件损坏,方便维修,延长使用寿命;带有真空安全检测和盖子安全检测装置;考虑到有时需要自动点胶装置,部分型号还带有可升级自动点胶的接口,满足升级需求;
如果需要放置在手套箱内使用,可以选择紧凑型设计的型号;如果有大尺寸样品旋涂,可以选择大尺寸型号。