匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。实验室匀胶机采用了先进的设计理念，配合精密的运动控制系统，可以实现高精度、高均匀度的匀胶操作，并配有控温系统，控温均匀性好，可实现边加热边匀胶功能，操作界面可存贮10组程序，每组程序可达10步。运行参数如转速、转动时间可实时显示

　　匀胶机的参数设置涉及多个方面，包括基片尺寸、转速、旋涂设置、转速稳定性、旋涂均匀性、旋涂工艺阶段、旋涂时间、整机尺寸、电机功率、适应材料、配套无油真空泵参数等。 12基片尺寸 ：匀胶机可以处理不同尺寸的基片，包括圆片(直径范围从5mm到100mm)和方片(最大尺寸为100mm×100mm)。

　　转速 ：匀胶机的转速范围广泛，从2500RPM到9000RPM，甚至可以达到更高的转速，如12000rpm，以满足不同的旋涂需求。

　　旋涂设置 ：匀胶机支持在任意阶段之间进行任意升降调节，提供多达20个程序段来存储不同材料的制备过程，每个程序段都能设定51步速度改变。

　　转速稳定性 和旋涂均匀性 ：匀胶机的转速稳定性要求高，通常在1%以内，以确保旋涂过程的均匀性和一致性。

　　旋涂工艺阶段 和旋涂时间 ：匀胶机支持多达6段的旋涂工艺阶段，旋涂时间可根据客户需求调节，从0.1秒到3000秒不等。

　　整机尺寸 和电机功率 ：匀胶机的整机尺寸和电机功率也是重要的参数，例如，某些型号的匀胶机尺寸为210mm×280mm×248mm，电机功率为40W。

　　适应材料 ：匀胶机能够适应多种材料，包括硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP等。

　　配套无油真空泵参数 ：匀胶机通常配备无油真空泵，以提供必要的真空环境，确保旋涂过程的顺利进行。

　　这些参数的设置和调整，旨在满足不同应用场景下的旋涂需求，确保旋涂过程的均匀性、稳定性和效率。

　　匀胶机使用方法：

　　1.特点是双转速匀胶机，两档转速及其匀胶时间分别连续调节，在启动后先低速运转，经几秒钟后自动转换到高速运转。

　　Ⅰ档转速： 4A型500-2000转/分; 5型500-1000转/分Ⅰ速匀胶

　　时间： 2-18秒Ⅱ档转速： 4A型1300-8000转/分; 5型900-5000转/分Ⅱ速匀胶时间： 3-60秒

　　2. LED数字显示，转速稳定度± 1%，胶的均匀性4A型± 3%、 5型± 5%。

　　一 体积小，重量轻，操作方便。

　　一 电机功率： 4A型40W; 5型180W。

　　一适用于4A型φ 5至φ 100mm; 5型φ 100至φ 200mm硅片及其它材料等匀胶。

　　匀胶机操作步骤

　　1.选择合适的片托，(略小于样片尺寸)将缺口对准螺钉。片托安装时一定要到底。

　　1、开启电源，按下“控制键”

　　2、调节合适的匀胶时间和转速。转速Ⅰ为低速，转速Ⅱ为高速。

　　3、放片，要注意放正。

　　4、按下“吸片”键开始抽气。注意在按“吸片”键之前，转速电位器上的指示灯不应亮。

　　1)按“启动键”，电机旋转，数字稳定后为实际转速，如： 1.50即为1500转/分。

　　2)滴胶，动作要快些，要在低转速时间内滴胶完毕，然后匀胶机变为高速匀胶。若不知匀胶机是低速还是高速运转，则可以从电位器上的指示灯来判断，黄色为低速，绿色为高速。

　　3)数字多圈电位器只用来调节转速，其读数和显示转速不对应， LED显示的读数才是实际转速。当数字无显示时电位器上的读数可供参考。

　　9.电机停转后，抬起“吸片”键，取下片子。

　　1 匀胶时间、转速若不合适可随时调节。

　　2 继续匀胶时重复4-8步。

　　3 匀胶结束后抬起“吸片”键、“控制”键，关断电源。

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